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退火擴(kuò)散爐磷擴(kuò)擴(kuò)散爐臥式擴(kuò)散爐青島晨立

供應(yīng)商：: 青島晨立電子有限公司 進(jìn)入商鋪
所在分類：: 電子元件 - 電子產(chǎn)品制造設(shè)備 - 電子電器生產(chǎn)線
報價：: 電訊
品牌: 晨立
型號: cl
所在地：: 山東省青島市即墨區(qū)泰山三路285號聯(lián)東u谷即墨科技創(chuàng)新谷3號樓
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聯(lián)系人：: 姜經(jīng)理

詳細(xì)介紹

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設(shè)備用途：擴(kuò)散爐是半導(dǎo)體加工中的典型熱處理設(shè)備，用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件、光導(dǎo)纖維等行業(yè)中進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝。產(chǎn)品描述： ◆軟著陸載片裝置軟著陸送料裝置，避免了sic槳的遮擋影響，提高了擴(kuò)散均勻性。同時槳的清洗周期大幅度延長。 ◆高精度溫度控制新型爐體設(shè)計，提高了溫度穩(wěn)定性；配合高精度溫控儀的使用，保證工藝過程中溫度的快速穩(wěn)定。 ◆高性能進(jìn)口元器件組合關(guān)鍵件采用進(jìn)口管件，且為半導(dǎo)體級別；優(yōu)質(zhì)的元器件組合，從而保證成膜質(zhì)量。主要技術(shù)參數(shù)： ◆工藝管數(shù)量：1-4管 ◆工藝管口徑：φ90-360mm（3～12英寸） ◆結(jié)構(gòu)型式：臥式熱壁型 ◆工作溫度范圍：400～1280℃ ◆恒溫區(qū)長度及精度±0.5℃/1080mm ◆工藝均勻性:≤±5％（30~60歐姆） ◆氣體流量設(shè)定精度:±1％f.s ◆氣路系統(tǒng)氣密性： 1×10-7pa.m3/s ◆超凈工作臺：凈化等級：100級（萬級廠房）噪音：≤62db（a）震動：≤3μm ◆控制方式：工業(yè)微機(jī)控制 ◆記錄工藝曲線數(shù)量及工藝步數(shù)不受限制青島晨立電子有限公司為各大技術(shù)院校、試驗工程，專業(yè)打造試驗擴(kuò)散爐，可根據(jù)客戶需求定制各種非標(biāo)擴(kuò)散爐和擴(kuò)散爐系統(tǒng)。退火擴(kuò)散爐磷擴(kuò)擴(kuò)散爐臥式擴(kuò)散爐青島晨立