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清洗安全操作規(guī)范：
(1)操作前，江蘇半導(dǎo)體濕法設(shè)備，一定要檢查工作臺通風(fēng)是否良好，如有異常，向上級匯報(bào)或向動力保障部門說明情況，半導(dǎo)體，請求調(diào)整；
(2)在通風(fēng)櫥里開啟藥品，蘇州半導(dǎo)體清洗機(jī)，并一定要戴上口罩、塑膠手套和防酸手套；
(3)試劑開啟前，都必須將外面的塑料袋、筋取下并扔進(jìn)垃圾桶；
(4)擰開藥品蓋后，取下瓶口的塑封膜并扔進(jìn)垃圾桶，在傾倒藥品時(shí)，一定要確定塑封膜是否在瓶上。
水加氧化劑清洗液
? 水加氧化劑清洗液配方為: nh4oh∶h2o2∶h2o=1∶10∶10~1∶20∶20，半導(dǎo)體清洗機(jī)，溫度為25~40℃，時(shí)間10~30min。由于這種清洗液具有堿性、氧化性和絡(luò)合性，可以發(fā)生氧化反應(yīng)、產(chǎn)生微蝕刻作用，以達(dá)到去除表面顆粒的目的，可以去除一些有機(jī)污染物及部分重金屬離子污染物。
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